珂瑪科技:12英寸靜電卡盤(pán)已完成驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)
2025-11-12 12:31   
來(lái)源: 云財(cái)經(jīng)   
影響力評(píng)估指數(shù):24.21  
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云財(cái)經(jīng)訊,珂瑪科技(301611)11月12日在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造(包括存儲(chǔ)芯片)前道工藝設(shè)備,目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備。截至目前,公司12英寸靜電卡盤(pán)已完成驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn),12寸多區(qū)加熱靜電卡盤(pán)已完成產(chǎn)品開(kāi)發(fā),公司正積極推進(jìn)其驗(yàn)證進(jìn)程。
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