中科飛測首臺晶圓平坦度測量設(shè)備出貨HBM客戶端
2025-11-22 10:38
來源: 云財(cái)經(jīng)
影響力評估指數(shù)：18.35
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云財(cái)經(jīng)訊，據(jù)中科飛測(688361)消息，近日，中科飛測(688361)首臺晶圓平坦度測量設(shè)備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客戶端。GINKGOIFM-P300的成功推出，標(biāo)志著我國在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破，打破了國外廠商的長期壟斷，突破國內(nèi)設(shè)備對超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的量測限制，同時(shí)支持鍵合后晶圓、化合物半導(dǎo)體襯底(SiC/GaAs)的全參數(shù)檢測。
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